真空这一术语译自拉丁文vacuo，其意是虚无。其实，真空应理解为气体较稀薄的空间。在指定空间内，低于一个大气压力的气体状态，称为真空。真空状态下气体稀薄程度称为真空度，通常用压力值表示。
很早以前，人们就把真空技术用于热处理炉，进行真空退火、回火、镀膜、钎焊、烧结等。20世纪60年代以来，由于宇航及电子计算机工业等的迫切需要，美国的海斯公司(Hayes）首先研制出气体冷却式和油冷式真空淬火炉。到了70年代由于石墨材料的使用，使真空热处理炉有了较大的飞跃

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