1、与可控气氛炉相比，不需要优质可燃气体的气源，可节省能源。真空热处理炉由于采用比热容小、隔热效果好的材料作隔热屏，因而蓄热损失较小，炉子的热效率较高，可实现快速升温和快速降温。
2、经真空处理的工件具有理想的表面特性，不氧化、不脱碳、不增碳，因此工件表面的化学成分和光亮度可保持不变。这样便省去处理后的加工余量，大大节约了工时和原材料消耗。工件在炉内加热缓慢，内外温差较小。热应力较小，因而变形小，产品合格率高，可以降低成本。
3、真空热处理对工件有除气作用，从而提高了工件的力学性能和使用寿命。
4、真空炉操作安全，工作环境好，没有污染和公害。
5、处理的工件没有氢脆危险。对钦材和难熔金属，在真空中处理可防止表面脆化。
6、真空热处理炉一次投资额较大，但只要生产任务饱满，能很快得到回收。生产过程中成本与其他炉相比并不高，加之还具有广泛的社会效益，因而真空炉将不断在热处理行业推广应用。

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