内热式真空热处理炉，通常指电阻加热的。其电热元件、隔热屏、炉床和其他构件均安装在真空的加热室炉壳内，主要靠电热元件的热辐射对工件进行加热。炉壳一般都是双层水冷的，所以也称冷壁式真空炉。电热元件置于炉壳的中部，并围成一个加热区，在电热元件外部布置金属辐射屏或非金属隔热屏。炉床安装在加热区内，工件放在炉床上。加热电极通过炉壳引人，设计时要考虑电极的水冷和良好的密封性能。内热式真空热处理炉的数量多，种类繁杂，是目前真空热处理炉的主流，常作为退火、淬火、回火、烧结、钎焊时使用。与外热式炉相比，其主要特点如下。
①因没有耐热炉罐，温度范围广，最高温度可达1300-2200℃或更高。一般炉子的容量也不受限制。
②结构较复杂，炉子造价高，但易实现全过程的自动化。工作环境好，操作安全。
③炉子热惯性小，加热和冷却作业循环短，热效率较高，生产率也较高。
④炉温均匀性好，可达士5℃。工件加热均匀，变形小。
⑤加热期间通常不需要保护气氛。
⑥电热元件与隔热屏．特别是非金属隔热屏及很多构件均处于真空高温下工作，常放出大量气体，因而所配备的真空系统容量要相应增大。

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